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半導體制造設備滑動部件潤滑脂

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產(chǎn)品名稱: 半導體制造設備滑動部件潤滑脂
產(chǎn)品型號: Klüberalfa GR Y VAC 3
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹


半導體制造設備滑動部件潤滑脂  的詳細介紹

NOK KLUBER/NOK克魯勃 半導體制造設備滑動部件潤滑脂

特征

  • 蒸氣壓低，即使在高真空下油的蒸發(fā)也少
  • 優(yōu)異的耐熱性
  • 優(yōu)異的氧化穩(wěn)定性
  • 可用于多種橡膠和塑料
  • 不溶解或與許多化學品、溶劑和燃料發(fā)生反應


用途

  • 以下是高真空環(huán)境下使用的機器設備的軸承和滑動部件（油封、O型圈等）。
  • 半導體制造設備
  • 潔凈室、濺射設備、真空冶金設備、電子顯微鏡
  • 真空泵、真空蒸發(fā)機、連續(xù)真空電鍍設備


製品特性

評価項目 単位 條件 Klüberalfa GR Y VAC 3
基油 - - フッ素油
蒸気圧 Pa 20℃ 7.00E-11
外観 - - 白色
溫度下限 ℃ - -20
溫度上限 ℃ - 250
増ちょう剤 - - PTFE
ちょう度 - 60W, 25℃ 3號
この製品に関する注意事項はこちらをご覧ください。

容量

100gチューブ、1kg樹脂容器

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