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IWAKI易威奇/氣動(dòng)波紋管泵/點(diǎn)膠機(jī)

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產(chǎn)品名稱: IWAKI易威奇/氣動(dòng)波紋管泵/點(diǎn)膠機(jī)
產(chǎn)品型號(hào): SB系列
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

IWAKI易威奇/氣動(dòng)波紋管泵/點(diǎn)膠機(jī) SB系列，適合半導(dǎo)體制造工藝中的抗蝕劑涂覆工藝。

IWAKI易威奇/氣動(dòng)波紋管泵/點(diǎn)膠機(jī)  的詳細(xì)介紹

IWAKI易威奇/氣動(dòng)波紋管泵/點(diǎn)膠機(jī) SB系列     產(chǎn)品特點(diǎn)：

●高精準(zhǔn)度

準(zhǔn)確測(cè)量和分配光刻膠和其他化學(xué)溶液

●輕巧緊湊的設(shè)計(jì)

●接液部件材料包括不銹鋼（SUS304）和氟樹(shù)脂（PTFE、PFA）類(lèi)型

●具有優(yōu)異的耐腐蝕性，并且不存在液體污染

IWAKI易威奇/氣動(dòng)波紋管泵/點(diǎn)膠機(jī) SB系列     產(chǎn)品參數(shù)：

*大排放量 100mL/沖程
*大排出壓力范圍 0.05～0.1MPa
供氣壓力范圍 0.15～0.5MPa
*大耗氣量 1.0NL/行程
主要成分 SUS304/PTFE、PFA
液體溫度范圍 15~25℃

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